原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope，簡(jiǎn)稱AFM）是納米科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域最重要、最基礎(chǔ)的表征工具之一，也是掃描探針顯微鏡家族中應(yīng)用廣泛的成員。它能夠在原子尺度上觀測(cè)樣品表面的三維形貌，測(cè)量表面粗糙度、機(jī)械性能、電學(xué)性能、磁學(xué)性能等多種物理性質(zhì)，為材料科學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體技術(shù)、表面化學(xué)等前沿研究提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支撐，是現(xiàn)代科學(xué)實(shí)驗(yàn)室中的儀器。
原子力顯微鏡的工作原理基于探針針尖與樣品表面之間極其微弱的相互作用力。儀器的核心部件是一個(gè)帶有微小針尖的彈性懸臂，針尖半徑通常在幾納米到幾十納米范圍，懸臂的彈性系數(shù)很小，對(duì)力的變化非常敏感。當(dāng)針尖接近樣品表面時(shí)，原子間的范德華力、靜電力、磁力等作用力使懸臂發(fā)生偏轉(zhuǎn)。通過光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)（通常是激光反射）精確測(cè)量懸臂的偏轉(zhuǎn)量或共振頻率變化，就可以獲得針尖與樣品之間作用力的信息。通過在樣品表面進(jìn)行光柵式掃描，記錄每一點(diǎn)的高度信息，就可以重建出樣品表面的三維形貌圖。
原子力顯微鏡相比傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。首先是分辨率高，不受光學(xué)衍射極限的限制，縱向分辨率可達(dá)0.01納米，橫向分辨率可達(dá)0.1納米，真正實(shí)現(xiàn)了原子級(jí)分辨。其次是對(duì)環(huán)境要求低，可以在大氣、液體、真空等各種環(huán)境中工作，特別適合生物樣品和液體環(huán)境下的觀測(cè)。再次是樣品制備簡(jiǎn)單，不需要導(dǎo)電鍍膜或真空處理，可以直接觀測(cè)絕緣樣品和軟質(zhì)樣品。此外，AFM還可以測(cè)量多種物理性質(zhì)，實(shí)現(xiàn)多功能表征。
原子力顯微鏡有多種工作模式，適應(yīng)不同類型的樣品和觀測(cè)需求。接觸模式下，探針始終與樣品表面接觸，通過測(cè)量懸臂的偏轉(zhuǎn)獲得形貌信息，適用于硬質(zhì)樣品的掃描，但可能對(duì)軟質(zhì)樣品造成損傷。輕敲模式（也叫間歇接觸模式或動(dòng)態(tài)模式）下，懸臂以共振頻率振動(dòng)，針尖間歇性接觸樣品表面，通過測(cè)量振幅變化獲得形貌信息，對(duì)樣品的損傷小，適合軟質(zhì)樣品和生物樣品。非接觸模式下，探針在樣品上方一定高度掃描，不接觸樣品表面，通過測(cè)量范德華力變化獲得信息，可實(shí)現(xiàn)無損檢測(cè)，但分辨率相對(duì)較低。
除了基本的三維形貌成像，原子力顯微鏡還可通過特殊探針和檢測(cè)模式實(shí)現(xiàn)更多功能擴(kuò)展。導(dǎo)電AFM（CAFM）使用鍍金屬的導(dǎo)電探針，可以測(cè)量樣品的電導(dǎo)率分布和局域電流-電壓特性，用于研究半導(dǎo)體器件、導(dǎo)電聚合物等。力曲線模式可以測(cè)量探針接近和離開樣品時(shí)的力-距離曲線，從中提取樣品的彈性模量、粘附力、電荷密度等機(jī)械和化學(xué)性質(zhì)。開爾文探針力顯微鏡（KPFM）可以測(cè)量樣品的表面電勢(shì)分布，用于研究功函數(shù)、電荷分布等。磁力顯微鏡（MFM）、靜電力顯微鏡（EFM）、掃描熱顯微鏡（SThM）等模式則分別用于測(cè)量磁性、靜電荷、熱導(dǎo)率等性質(zhì)。
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